北京凯硕恒盛科技有限公司
双面研磨机 , 单面磨 , 内圆磨 , 外圆磨 , 减薄机等
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发布时间:2020-07-04







减薄机的介绍

相信对设备有-定了解的朋友都知道“减薄机”是比较适用于工件硬度相对较高、厚度超薄且加工精度要求高的产品。例如像LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、硅片、诸片、陶瓷片、钨钢片等各类材质的工件高速减薄。其主要的工作原理是由真空主轴吸附于工件与金刚石磨轮作相反方向高速磨削,金刚石磨轮前后摆动。这种工作原理不但可以做到减小磨削阻力,让工件不易破损, 同时还可以提高生产效率。


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影响减薄机减薄硅片平整度的因素有哪些?

减薄前将硅片粒结合在行星齿轮片上的沾片方法是十分重要的。因为当沾片的方法不合理时,减薄后的硅片厚度公差将会随之增大,所以在沾片前我们要故的首步是将硅片按厚度分好档,然后把硅片用蜡均匀地沾在行星齿轮片正、反两面上,需要注意的是同一轮研磨的四块或五块行星齿轮片上的硅片厚度-定要均匀,如果硅片不按照厚度去分档,而任意沾片,想要提高减薄后的硅片厚度公差是相对比较困难的。




立式减薄机IVG-200S设备规格

设备规格:


1)磨盘主轴系统

A) 类型:滚子轴承

B) 电机:AC 伺服电机(3.0kW)

C) 砂轮规格:Ф200mm

2) 工件盘主轴系统

A)     类型:滚子轴承

B)     电机:齿轮电机(0.75kW)

3) 进给系统

A)     类型:Combination of Ball Serve and LM Guide

B)     电机:微步进给电机

C)     控制:0.1μm Control by Linear Scale Feedback

4) 控制系统(PLC)

A)     制造商:Parker Hannifin Co.

B)     控制器:SX Indexer/Drive

C)     显示系统:EASON 900

5) 辅助设备

A)     电源:220V,50Hz,3相,5kW

B)     气压:5.5-6kgf/cm2  (0.55-0.6Mpa)

C)     离心分离机:Sludge Free(SF100)(选配件)

D)     水箱容量:200L

E)     冷凝器:0.5kw

F)     过滤装置:20μm,10μm Cartridge Filter

6) 尺寸及重量

设备尺寸:1,100(W) x 950(D) x 1,976(H)  

设备重量:1,400kg  



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